Эти системы, установленные в помещении «чистой комнаты» класса 6 ISO, позволяют изготавливать наноструктуры из металлов, кроме алюминия.
Системы плазменной очистки ATTO II (Германия) и плазмохимического травления «Плазма- 102 ПХОМ» (Россия)
Saratov
State
University
