- «Чистая комната», площадь 200 м2, класс чистоты помещений ISO 4-8.
- Система электронно-лучевой литографии высокого разрешения CABL 9000C фирмы CRESTEC (Япония).
- Лазерный генератор изображений ЭМ 5109 (Беларусь).
- Установка плазмохимического травления в индуктивно связанной плазме CORIAL 200 IL (Франция).
- Установка плазмохимического травления ПХОМ 100.
- Установка плазмохимической очистки ATTO 2000
- Установка магнетронного напыления и плазменно-дугового осаждения многослойных наноразмерных пленок С-400-2С фирмы ULVAC (Япония).
- Установка нанесения резиста SPIN200
- Зондовая установка для контроля СВЧ параметров микросхем на пластине.
- Лазерный сканирующий 3D- микроскоп Olympus LEXT.
- СВЧ анализатор цепей AgilentTechnologies
- СВЧ анализатор спектра AgilentTechnologies
- Ультразвуковой дефектоскоп OMNI Scan
- Цифровой осциллограф Yokogawa
- Генератор сигналов Tektronics
- Многодиапазонный ультразвуковой генератор высокой мощности.
наверх